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中科大學(xué)子在氮化硅集成芯片頻率梳領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破

發(fā)布時(shí)間:2020-05-21 10:13:21來(lái)源:cnBeta

  5 月 14 日,《Nature》封面成果介紹了激光雷達(dá)工作的成果。據(jù)集微網(wǎng)了解到,該成果重要貢獻(xiàn)者之一劉駿秋是中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué) 08 級(jí)少年班學(xué)院校友。劉駿秋負(fù)責(zé)了該成果最核心技術(shù)——氮化硅芯片制備。該芯片基于 4 月 20 日在《Nature Photonics》上刊登的一篇論文,劉駿秋是該論文的第一作者。

  這篇論文名為“Photonic microwave generation in the X- and K-band using integrated soliton microcombs”,展示的是由 Tobias J. Kippenberg 領(lǐng)導(dǎo)的 EPFL(瑞士洛桑聯(lián)邦理工學(xué)院)研究小組演示的脈沖重復(fù)頻率低至 10GHz 的集成孤子微梳。論文第一作者是劉駿秋(0800)。何吉駿(中國(guó)科大 0938 校友)則名列共同第一作者。華人合作者還有上海大學(xué)郭海潤(rùn)教授。

  在現(xiàn)在的信息社會(huì),無(wú)線網(wǎng)絡(luò)、電信、雷達(dá)等電信和微波信號(hào)的合成、分發(fā)和處理無(wú)處不在。目前的趨勢(shì)是使用高頻段的載波,尤其是 5G 和 "物聯(lián)網(wǎng) "等需求帶來(lái)的帶寬瓶頸的出現(xiàn),使得載波的使用成為了趨勢(shì)。在這種背景下,一門新興的交叉學(xué)科:微波光子學(xué)(Microwave photonics)孕育而生,其將光電子技術(shù)和微波技術(shù)結(jié)合起來(lái),突破了當(dāng)前信號(hào)處理的瓶頸限制,使得高頻段的信號(hào)合成,分發(fā)和處理成為可能。

  微波光子學(xué)的一個(gè)重要組成部分是光學(xué)頻率梳,它可以提供數(shù)百條等距且相干的激光線。它們是具有穩(wěn)定重復(fù)率的超短光脈沖,精確地對(duì)應(yīng)于梳齒線的頻率間隔。脈沖的光電檢測(cè)產(chǎn)生微波載體。

  近年來(lái),由連續(xù)波激光器驅(qū)動(dòng)的非線性微諧振器產(chǎn)生的芯片級(jí)頻率梳取得了重大進(jìn)展。這些頻率梳依賴于耗散的 Kerr 孤子的形成,這些孤子是在光學(xué)微諧振器內(nèi)部循環(huán)的超短相干光脈沖。因此,這些頻率梳通常稱為“孤子微梳”。

  產(chǎn)生孤子微梳需要非線性光學(xué)微腔,這些光學(xué)微腔具有體積?、能耗低、可控度?等特點(diǎn)。特別是,通過(guò)利?半導(dǎo)體納?微加?技術(shù),光學(xué)微腔可以在集成材料中實(shí)現(xiàn)。這些材料包括氮化硅,硅,?氧化硅,氮化鋁,鈮酸鋰,砷化鋁鎵等。其中, 由于氮化硅在通訊 1550 nm 波段沒(méi)有雙光?吸收,同時(shí)也是集成光學(xué)主流三?平臺(tái)之?(硅,磷化銦,氮化硅),是目前最成熟的芯片頻率梳平臺(tái)?;谛?集成微腔的光頻率梳僅毫米尺寸,?產(chǎn)成本低,適?于?業(yè)化?量成產(chǎn),有望在未來(lái)成為光頻率梳的主流平臺(tái)。

  EPFL 小組實(shí)現(xiàn)了足夠低的光學(xué)損耗,以允許光在直徑僅為 1 微米或比人發(fā)小 100 倍的波導(dǎo)中傳播近 1 米。該損耗水平仍比光纖中的損耗水平高三個(gè)數(shù)量級(jí)以上,但代表了迄今為止對(duì)于集成非線性光子學(xué)而言任何嚴(yán)格限制的波導(dǎo)中的最低損耗。

  如此低的損耗是 EPFL 科學(xué)家開(kāi)發(fā)的一種新制造工藝的結(jié)果,即“氮化硅光子 Damascene 工藝”。 該工藝的研發(fā)和氮化硅芯片的制造全部于瑞士洛桑聯(lián)邦理工學(xué)院的微納米技術(shù)中心(CMi)完成。

  這種超低損耗氮化硅波導(dǎo),也使得集成微腔光頻梳能夠應(yīng)用在一些新興的領(lǐng)域。最新一期的《Nature》雜志就以封面形式重點(diǎn)報(bào)道了該課題組基于氮化硅技術(shù)的激光雷達(dá)工作“Massively parallel coherent laser ranging using soliton microcombs”。劉駿秋制備的氮化硅芯片,在此項(xiàng)工作里起到了關(guān)鍵作用。

  據(jù)劉駿秋透露,基于此項(xiàng)氮化硅芯片集成頻率梳技術(shù),瑞士聯(lián)邦理工團(tuán)隊(duì)與其美國(guó)的合作者共同開(kāi)展并完成了全集成芯片頻率梳模塊的研發(fā),和基于壓電材料的頻率梳集成聲光調(diào)制器。兩項(xiàng)工作均已被《自然》期刊接受,預(yù)計(jì)將于 6 月和 7 月相繼發(fā)表。毫?疑問(wèn),氮化硅芯?集成頻率梳正在成為?項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù),將會(huì)對(duì)新興技術(shù)如芯片集成光譜儀、光原子鐘、光學(xué)相干斷層掃描等數(shù)個(gè)領(lǐng)域產(chǎn)?重要影響。
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